正確的使用高精度全站儀進行準確的距離測量不是難事，重要的是把握住技巧和方法。
（1）設置棱鏡常數
測距前須將棱鏡常數輸入儀器中，儀器會自動對所測距離進行改正。
（2）設置大氣改正值或氣溫、氣壓值
光在大氣中的傳播速度會隨大氣的溫度和氣壓而變化，15℃和760mmHg是儀器設置的一個標準值，此時的大氣改正為0ppm。實測時，可輸入溫度和氣壓值，高精度全站儀會自動計算大氣改正值（也可直接輸入大氣改正值），并對測距結果進行改正。
（3）量儀器高、棱鏡高并輸入高精度全站儀。
（4）距離測量
照準目標棱鏡中心，按測距鍵，距離測量開始，測距完成時顯示斜距、平距、高差。
高精度全站儀的測距模式有精測模式、跟蹤模式、粗測模式三種。精測模式是最常用的測距模式，測量時間約2.5S，最小顯示單位1mm；跟蹤模式，常用于跟蹤移動目標或放樣時連續測距，最小顯示一般為1cm，每次測距時間約0.3S；粗測模式，測量時間約0.7S，最小顯示單位1cm或1mm。在距離測量或坐標測量時，可按測距模式（MODE）鍵選擇不同的測距模式。
注意事項：高精度全站儀的測距模式有精測模式、跟蹤模式、粗測模式三種。精測模式是最常用的測距模式；跟蹤模式，常用于跟蹤移動目標或放樣時連續測距；粗測模式，大概的進行預先測量。在距離測量或坐標測量時，可按測距模式鍵選擇不同的測距模式。
有些型號的高精度全站儀在距離測量時不能設定儀器高和棱鏡高，顯示的高差值是高精度全站儀橫軸中心與棱鏡中心的高差。
